荷兰ASML公司目前能够制造出的最先进的光刻机是EUV光刻机，这台光刻机能够生产出5nm制程的芯片。

ASML公司在光刻机领域具有丰富的经验和技术实力，其研发的光刻机在性能、稳定性和可靠性方面都处于领先地位。